一种抛光液温度控制装置

摘要

本实用新型提供一种抛光液温度控制装置，包括液冷管路，液冷管路上设置有电磁阀，所述抛光液温度控制装置还包括温度控制仪和用以探测抛光液温度的红外线测温传感器，所述温度控制仪包括温度数据输入端、报警输出端和控制输出端；所述红外线测温传感器与温度控制仪的温度数据输入端相连，温度控制仪的控制输出端连接至电磁阀，本装置增加了温度控制仪、红外线测温传感器以及报警装置，可以实现温度控制在35℃以下或者温度在38℃以上，报警装置报警提示操作人员停机检查，成功预防由于温度上升而造成的晶片滑片破碎等此类生产报废的发生，因此可提高抛光研磨的质量，提高在线良率，降低返工率。

主权项

一种抛光液温度控制装置，包括液冷管路，其特征在于：液冷管路上设置有电磁阀，所述抛光液温度控制装置还包括温度控制仪和用以探测抛光液温度的红外线测温传感器，所述温度控制仪包括温度数据输入端、报警输出端和控制输出端；所述红外线测温传感器与温度控制仪的温度数据输入端相连，温度控制仪的控制输出端连接至电磁阀。