发明名称 一种静电放电保护结构
摘要 本发明公开一种静电放电保护结构,包括一衬底,P阱、N阱,N阱内包括第一N型注入区、第一P型注入区、第二N型注入区的一部分,且三者之间用氧化硅隔离;P阱内从N阱端开始依次包括所述第二N型注入区的另一部分、第三N型注入区、第二P型注入区、第四N型注入区、第三P型注入区,其中第三N型注入区、第二P型注入区、第四N型注入区、第三P型注入区之间用氧化硅隔离,第二N型注入区的另一部分和第三N型注入区之间的表面设有多晶硅栅极,第一P型注入区、第一N型注入区、第四N型注入区连接被保护管脚,多晶硅栅极、第三N型注入区、第二P型注入区、第三P型注入区接地端。本发明结构简单,且具有很高的正向和反向静电放电防护能力。
申请公布号 CN103745976A 申请公布日期 2014.04.23
申请号 CN201410016868.0 申请日期 2014.01.15
申请人 帝奥微电子有限公司 发明人 吕宇强
分类号 H01L27/02(2006.01)I 主分类号 H01L27/02(2006.01)I
代理机构 上海宏威知识产权代理有限公司 31250 代理人 金利琴
主权项 一种静电放电保护结构,其特征在于:包括一衬底,P阱、N阱,所述N阱内包括第一N型注入区、第一P型注入区、第二N型注入区的一部分,且三者之间用氧化硅隔离;所述P阱内从N阱端开始依次包括所述第二N型注入区的另一部分、第三N型注入区、第二P型注入区、第四N型注入区、第三P型注入区,其中第三N型注入区、第二P型注入区、第四N型注入区、第三P型注入区之间用氧化硅隔离,所述第二N型注入区的另一部分和第三N型注入区之间的表面设有多晶硅栅极,所述第一P型注入区、第一N型注入区、第四N型注入区连接被保护管脚,所述多晶硅栅极、第三N型注入区、第二P型注入区、第三P型注入区接地端。
地址 201103 上海市闵行区合川路2679号虹桥国际商务广场2号楼603单元