一种新型晶圆承载装置

摘要

一种新型晶圆承载装置，主要解决现有的晶圆承载装置不能很好的稳定的实现对晶圆的承载，导致工艺失败的问题。它包括铝加热盘，铝加热盘外缘镶嵌一个环，环的内部设置一个凹槽，环的凹槽边缘与晶圆的最外圆周下表面直接接触，从而实现对晶圆的支撑，在加热盘中心处，安装一个球，或是在位于同一圆周的盘面上，安装多个均布的球。所述环的材质采用铝或陶瓷；上述球的材质采用蓝宝石或铝或陶瓷。本实用新型的特点是：在原有加热盘的基础上进行改进，采用简单可靠的镶嵌式结构，使得环及加热盘的加工、安装均很方便，大大节省了成本，并达到优于原来单纯铝制加热盘工艺效果的目的。

主权项

一种新型晶圆承载装置，包括铝加热盘，其特征在于：在所述的铝加热盘外缘镶嵌一个环，环的内部设置一个凹槽，环的凹槽边缘与晶圆的最外圆周下表面直接接触，从而实现对晶圆的支撑，在加热盘中心处，安装一个球，或是在位于同一圆周的盘面上，安装多个均布的球。