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经营范围
发明名称
半导体制程设备之异常预知管控装置与方法
摘要
申请公布号
TWI435233
申请公布日期
2014.04.21
申请号
TW100108595
申请日期
2011.03.14
申请人
力成科技股份有限公司 新竹县湖口乡新竹工业区大同路26号
发明人
林正伟
分类号
G06F19/00;G06F11/30
主分类号
G06F19/00
代理机构
代理人
许庆祥 高雄市前镇区复兴四路12号3楼之7
主权项
地址
新竹县湖口乡新竹工业区大同路26号
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