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发明名称 结晶质膜的制造方法以及制造装置
摘要
申请公布号 TWI435390 申请公布日期 2014.04.21
申请号 TW099113469 申请日期 2010.04.28
申请人 日本制钢所股份有限公司 日本 发明人 富樫陵太郎;井波俊夫;草间秀晃;河上彻太郎
分类号 H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人 詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;萧锡清 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址 日本
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