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Eine Ultraschallsensorvorrichtung beinhaltet ein Substrat (31), einen piezoelektrischen Vibrator (33) und eine Q-Faktor-Abgleicheinrichtung (70, 71, 110, 200, 210, 220, 230, 240, 250, 260). Der piezoelektrische Vibrator (33) beinhaltet ein Paar Erfassungselektroden (35, 36), die einander in einer Dickenrichtung des Substrats (31) gegenüberliegen, und einen piezoelektrischen Körper (37), der sich zwischen den Elektroden (35, 36) befindet. Der piezoelektrische Vibrator (33) stellt eine Membranstruktur (34) bereit, die auf einer Oberfläche (31) des Substrats (31) ausgebildet ist und eine niedrigere Festigkeit als die eines verbleibenden Abschnitts des Substrats (31) aufweist. Eine Ultraschallwelle wird durch den piezoelektrischen Vibrator (33) gesendet und deren reflektierte Welle wird durch denselben piezoelektrischen Vibrator (33) empfangen. Die Q-Faktor-Abgleicheinrichtung gleicht einen Q-Faktor des piezoelektrischen Vibrators (33) ab, so dass der Q-Faktor während einer Sendeperiode, in der der piezoelektrische Vibrator (33) die Ultraschallwelle sendet, größer als während einer Empfangsperiode ist, in der der piezoelektrische Vibrator (33) die Ultraschallwelle empfängt. |
