一种厚度测量装置

摘要

本实用新型公布了一种厚度测量装置，其特征在于：包括一个传感单元、一个磁体、一个连杆以及一个表面接触单元；所述传感单元位于磁体的正上方或其正上方的一侧，包括感应部分和相应的电路，用于测量其磁敏感方向上磁体磁场的分量；所述磁体的顶端中心附近的场强分布均匀且场强较小；所述连杆连接磁体以及表面接触单元；所述表面接触单元与待测物表面相接触，用于将待测物表面的厚度变化通过连杆转变成磁体的位移。本实用新型通过表面接触单元将待测物厚度变化通过连杆使磁体产生位移，然后传感单元检测磁体的位移变化来测量待测物厚度。具有测量精确、抗干扰能力强、结构简单的优点。

主权项

一种厚度测量装置，其特征在于：包括一个传感单元、一个磁体、一个连杆以及一个表面接触单元；所述传感单元位于磁体的正上方或其正上方的一侧，包括感应部分和相应的电路，用于测量其磁敏感方向上磁体磁场的分量；所述磁体的顶端中心附近的场强分布均匀且在其相对传感单元的位移范围内对传感单元施加的场强不会使传感单元达到饱和；所述连杆连接磁体以及表面接触单元；所述表面接触单元与待测物表面相接触，用于将待测物表面的厚度变化通过连杆转变成磁体的位移。