多晶炉红外控温装置及采用多晶炉红外控温装置的多晶炉

摘要

一种多晶炉红外控温装置及采用多晶炉红外控温装置的多晶炉，属于单晶硅生产设备技术领域，多晶炉红外控温装置包括基恩士KV-5000PLC、红外测温仪、石墨加热器、AC电源、PC机、控制箱、操作平台、操作箱。红外测温仪固定在上腔体上面，红外测温仪与基恩士KV-5000PLC相连，红外测温仪将测量的信号传输到基恩士KV-5000PLC中，通过工装调整红外测温仪，使红外测温仪与测温点对准；基恩士KV-5000PKLC安装在控制箱内，AC电源安装在操作平台上，PC机安装在操作箱上。本发明的有益效果在于：提高设备可靠性、满足多晶硅锭的安全生产、降低铸锭生产成本和安装简单。

主权项

一种采用多晶炉红外控温装置的多晶炉，多晶炉包括上腔体，其特征在于：多晶炉红外控温装置包括基恩士KV‑5000PLC、红外测温仪、石墨加热器、AC电源、PC机、控制箱、操作平台、操作箱；红外测温仪固定在上腔体上面，红外测温仪与基恩士KV‑5000PLC相连，基恩士KV‑5000PKLC与PC机相联接，AC电源一端与基恩士KV‑5000PKL连接，AC电源另一端与石墨加热器连接，基恩士KV‑5000PKLC安装在控制箱内，AC电源安装在操作平台上，PC机安装在操作箱上。