探测器、被检体信息获取装置及制造探测器的方法

摘要

本发明涉及探测器、被检体信息获取装置及制造探测器的方法。被配置为接收来自被检体的声波的探测器包括：元件，该元件具有单元结构，其中支撑了具有一对电极之一的振动膜，使得该振动膜可被声波所振动，该对电极被形成为在其间布置有间隙；光反射层，该光反射层相对于元件被设在靠近被检体的位置并且被配置为对光进行反射；以及支撑层，该支撑层被设在元件与光反射层之间并且被配置为支撑光反射层。

主权项

一种被配置为接收来自被检体的声波的探测器，该探测器包括：元件，所述元件具有单元结构，其中支撑了具有一对电极之一的振动膜，使得该振动膜可被声波所振动，该对电极被形成为在其间布置有间隙；光反射层，该光反射层相对于所述元件被设在靠近被检体的位置并且被配置为对光进行反射；以及支撑层，该支撑层被设在所述元件与所述光反射层之间并且被配置为支撑所述光反射层，其中，所述支撑层具有50MPa或更大的破裂应力。