发明名称 |
压力、声压变化、磁场、加速、振动或气体组成的测量器 |
摘要 |
本发明涉及用于测量压力、声压变化、磁场、加速度、振动或气体组成的传感器(1)和方法。该传感器(1)包括超声发射器(2)和布置成与之连接的腔(4)。根据本发明,传感器(1)包括位于腔(4)的与超声发射器(2)相对的端部处的无源传感器元件(3,3′),其距超声发射器(2)的距离选择成使得在所用超声频率满足谐振条件,超声发射器(2)包括轻构造膜片振荡器(9),其因此良好地连接到周围介质,且该传感器包括用于测量该超声发射器(2)与该腔(4)之间相互作用的器件。 |
申请公布号 |
CN101970339B |
申请公布日期 |
2014.04.16 |
申请号 |
CN200880119367.8 |
申请日期 |
2008.12.04 |
申请人 |
芬兰技术研究中心 |
发明人 |
H·塞帕;T·西兰帕 |
分类号 |
B81B3/00(2006.01)I;G01L9/00(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I;G01H15/00(2006.01)I |
主分类号 |
B81B3/00(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
彭武 |
主权项 |
一种用于测量压力、声压变化、磁场、加速度、振动或气体组成的传感器(1),所述传感器(1)包括:超声发射器(2),以及腔(4),其被布置成与所述超声发射器(2)连接,所述腔(4)在使用的超声频率的情况下处于谐振模式,其特征在于:所述传感器(1)包括位于所述腔(4)的与所述超声发射器(2)相对的端部处的无源传感器元件(3,3′),其距所述超声发射器(2)的距离被选择成满足谐振条件,所述超声发射器(2)包括轻构造膜片振荡器(9),所述振荡器(9)因此良好地连接到周围介质,以及所述传感器包含用于测量所述超声发射器(2)与所述腔(4)之间相互作用的器件。 |
地址 |
芬兰埃斯波 |