| 发明名称 | 一种线性蒸发源以及蒸镀设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型揭示一种线性蒸发源以及蒸镀设备。所述线性蒸发源包括：固定块；坩锅，所述坩锅固定于所述固定块之间，其内部装有有机材料，对待加工基板进行镀膜；坩锅断热块，所述坩锅断热块位于所述坩锅的两侧；侧盖板，所述侧盖板位于所述坩锅断热块的外侧；其特征在于，所述坩锅断热块上设有至少一个导向栓，所述坩锅的侧面设有与所述导向栓数量相同且位置对应的钻孔，运行时，每根所述导向栓均插入相对应的所述钻孔内，所述侧盖板装于所述线性蒸发源的最外侧。 | ||
| 申请公布号 | CN203546136U | 申请公布日期 | 2014.04.16 |
| 申请号 | CN201320636959.5 | 申请日期 | 2013.10.15 |
| 申请人 | 上海和辉光电有限公司 | 发明人 | 苏志玮;王演隆 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 黄嵩泉;吕俊清 |
| 主权项 | 一种线性蒸发源，包括： 固定块； 坩锅，所述坩锅固定于所述固定块之间，其内部装有有机材料，对待加工基板进行镀膜； 坩锅断热块，所述坩锅断热块位于所述坩锅的两侧； 侧盖板，所述侧盖板位于所述坩锅断热块的外侧； 其特征在于，所述坩锅断热块上设有至少一个导向栓，所述坩锅的侧面设有与所述导向栓数量相同且位置对应的钻孔，运行时，每根所述导向栓均插入相对应的所述钻孔内，所述侧盖板装于所述线性蒸发源的最外侧。 | ||
| 地址 | 201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室 | ||