搬运系统

摘要

搬运系统（1）具备收纳壳体（12）、升降装置（13）、传递装置（14）和搬运装置（15）。升降装置（13）使收纳壳体（12）升降而使其中的各基板（11）依次位于接收位置。传递装置（14）将接收位置的基板（11）接收后在传递位置上传递给搬运装置（15）。搬运装置（15）具有一对输送带（51、51）。一对输送带（51、51）在左右方向上隔着间隔设置，多个型材（54）相互对应地分别设置在此处。对应的型材（54）形成为向搬运方向一起移动，并且支持在传递位置上被传递的基板（11）的外缘部且将该基板（11）定位在规定位置上的结构。

主权项

一种搬运系统，具有：用于将多个基板在上下方向上隔着间隔收纳的收纳壳体；使所述收纳壳体升降而使所述收纳壳体内的所述基板依次位于接收位置的升降装置；接收所述接收位置的所述基板，并且在传递位置上传递所述基板的传递装置；和在所述传递位置上接收所述基板并搬运的搬运装置；所述搬运装置具有以在搬运方向上分别延伸且在规定方向上相互隔着间隔排列的方式设置的多个搬运带、相互对应地分别设置在所述多个搬运带上的多个支持构件、和以使所述对应的多个支持构件向所述搬运方向一起移动的方式驱动所述多个搬运带的搬运单元；与所述多个搬运带对应地设置的所述支持构件形成为支持在所述传递位置上被传递的所述基板的外缘部且将该被支持的基板定位在规定位置上的结构。