发明名称 |
液压微位移驱动器及微位移装置 |
摘要 |
本实用新型提供一种液压微位移驱动器及微位移装置,至少包括:设有内腔(18)的缸筒(13);密封所述缸筒(13)两端的上端盖(12)以及下端盖(15);位于所述上端盖上表面的球形凸台(11);所述球形凸台的中心线与所述缸筒的中心线重合;设置于所述下端盖(15)内与所述内腔连通的进油通道(14)以及与所述进油通道(14)导通的进油嘴(17)。本实用新型提出的液压微位移驱动器采用向密封的缸筒内充进一定压力的液体使得圆柱形管状缸筒产生相应的轴向伸长来实现微位移驱动,具有驱动行程较大、驱动平稳、抗干扰能力强以及皮实耐用等特点,克服了压电晶体驱动行程小、稳定性较差缺陷。 |
申请公布号 |
CN203545671U |
申请公布日期 |
2014.04.16 |
申请号 |
CN201320724746.8 |
申请日期 |
2013.11.15 |
申请人 |
江苏尚飞光电科技有限公司;中科院南通光电工程中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
发明人 |
黄海阳;武爱民;甘甫烷;盛振;李伟 |
分类号 |
B81B3/00(2006.01)I |
主分类号 |
B81B3/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
李仪萍 |
主权项 |
一种液压微位移驱动器,其特征在于,所述液压微位移驱动器至少包括:设有内腔(18)的缸筒(13);密封所述缸筒(13)两端的上端盖(12)以及下端盖(15);位于所述上端盖上表面的球形凸台(11);所述球形凸台的中心线与所述缸筒的中心线重合;设置于所述下端盖(15)内与所述内腔连通的进油通道(14)以及与所述进油通道(14)导通的进油嘴(17)。 |
地址 |
226009 江苏省南通市苏通科技产业园纬14路30号 |