提拉法制单晶硅棒的连接装置和制单晶硅棒设备

摘要

本实用新型提供了一种提拉法制单晶硅棒的连接装置和制单晶硅棒设备，提拉法制单晶硅棒的连接装置包括：安装部，安装部包括用于安装籽晶的安装孔；连接部，与安装部连接，连接部包括与安装孔同轴设置的连接孔。本实用新型的连接装置的夹持部用于夹持籽晶，连接部用于与提拉线缆连接，由于连接籽晶的安装孔和连接提拉线缆的连接孔同轴地设置，所以能够保证籽晶与提拉线缆的对中性，又由于籽晶卡接在安装孔内，而不是使用插销连接，所以在提拉过程中连接装置与单晶硅棒的受力均匀，保证了提拉过程中的籽晶、连接装置与提拉线缆之间的对中性，避免连接装置与单晶硅棒在旋转过程中发生径向晃动，从而提高了单晶硅棒的质量。

主权项

一种提拉法制单晶硅棒的连接装置，其特征在于，包括：安装部（10），所述安装部（10）包括用于安装籽晶的安装孔（11）；连接部（20），与所述安装部（10）连接，所述连接部（20）包括与所述安装孔（11）同轴设置的连接孔（21）。