发明名称 |
激光打标机与附属吸尘器的互锁电路 |
摘要 |
本实用新型公开了一种激光打标机与附属吸尘器的互锁电路,除原有的激光打标机主机台周边盖板安全互锁回路和吸尘器电路外,还包括有交流转直流开关电源、直流继电器和机台互锁连接导线;其中,交流转直流开关电源用于将吸尘器供电电源引出的交流电转换成直流电;直流继电器用于根据交流转直流开关电源是否得电来自动控制激光打标机主机台盖板安全互锁回路的开闭;机台互锁连接导线,用于将直流继电器串联入激光打标机主机台盖板安全互锁回路。本实用新型通过在激光打标机主机台原有互锁回路中加入附属吸尘器开关信号,解决了吸尘器不开启也可以打标的问题,保证了激光打标作业在吸尘器开启的状态下进行,从而保证了硅片表面洁净度。 |
申请公布号 |
CN203552325U |
申请公布日期 |
2014.04.16 |
申请号 |
CN201320652719.4 |
申请日期 |
2013.10.22 |
申请人 |
上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
钱敏;刘立成;刘波 |
分类号 |
G07C9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G07C9/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 31211 |
代理人 |
丁纪铁 |
主权项 |
激光打标机与附属吸尘器的互锁电路,包括激光打标机主机台周边盖板安全互锁回路和吸尘器电路,其特征在于,还包括有交流转直流开关电源、直流继电器和机台互锁连接导线;其中:交流转直流开关电源,用于将吸尘器供电电源引出的交流电转换成直流电;直流继电器,用于根据交流转直流开关电源是否得电来自动控制激光打标机主机台盖板安全互锁回路的开闭;机台互锁连接导线,用于将直流继电器串联入激光打标机主机台盖板安全互锁回路。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江高科技园区祖冲之路1399号 |