| 发明名称 |
含第４族金属膜的沉积方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI433955 |
申请公布日期 |
2014.04.11 |
| 申请号 |
TW099135840 |
申请日期 |
2010.10.20 |
| 申请人 |
气体产品及化学品股份公司 美国 |
发明人 |
伊瓦诺夫 塞基 乌拉底米诺维奇;雷新建;程汉颂;史宾西 丹尼尔 Ｐ;金武性 |
| 分类号 |
C23C16/40;C23C16/455;C07F7/00 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈展俊 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2;林圣富 台北市大安区和平东路2段203号4楼之2 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
