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经营范围
发明名称
乾式蚀刻之可倒转图案负载
摘要
申请公布号
TWI434346
申请公布日期
2014.04.11
申请号
TW100108557
申请日期
2011.03.14
申请人
应用材料股份有限公司 美国
发明人
汤静;英戈尔尼廷;杨东青;凡卡塔拉曼尚卡尔
分类号
H01L21/3065
主分类号
H01L21/3065
代理机构
代理人
蔡坤财 台北市中山区松江路148号11楼;李世章 台北市中山区松江路148号11楼
主权项
地址
美国
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