发明名称 晶圆劈裂机
摘要
申请公布号 TWM476358 申请公布日期 2014.04.11
申请号 TW102223140 申请日期 2013.12.10
申请人 郑礼忠 新竹县竹北市文采街57号;蔡奇陵 高雄市前镇区精忠街145巷17之3号3楼 发明人 郑礼忠;蔡奇陵
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 周威君 新竹县竹东镇中兴路4段195号53馆219室
主权项
地址 高雄市前镇区精忠街145巷17之3号3楼