发明名称 半调式光罩及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI434133 申请公布日期 2014.04.11
申请号 TW099116366 申请日期 2010.05.21
申请人 LG伊诺特股份有限公司 南韩 发明人 金武成
分类号 G03F1/32 主分类号 G03F1/32
代理机构 代理人 陈瑞田 高雄市凤山区建国路3段256之1号
主权项
地址 南韩