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经营范围
发明名称
半调式光罩及其制造方法
摘要
申请公布号
TWI434133
申请公布日期
2014.04.11
申请号
TW099116366
申请日期
2010.05.21
申请人
LG伊诺特股份有限公司 南韩
发明人
金武成
分类号
G03F1/32
主分类号
G03F1/32
代理机构
代理人
陈瑞田 高雄市凤山区建国路3段256之1号
主权项
地址
南韩
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