| 摘要 |
1. Способ получения рельефа на металлической поверхности, включающий селективное нанесение маски в виде защитной пленки на предварительно очищенную подложку, травление рисунка, промывку и удаление защитной пленки, отличающийся тем, что создают защитный газовый слой между маской и подложкой с помощью травящего раствора, при этом материал маски выбирают из условия устойчивости от воздействия травящего состава и наносят ее преимущественно методами фотолитографии; при этом поверхность подложки располагают параллельно поверхности травящего раствора и процесс ведут в неподвижном состоянии подложки и травящего раствора, до формирования пузырьков газа под подтравленными участками подложки, расположенными под маской и образованного газового слоя, защищающего материал подложки от дальнейшего бокового подтрава; далее после промывки и сушки удаляют маску, контролируют размеры и качество полученного рельефа, удаляют микронеровности преимущественно методом электрополировки, вырезают по контуру и упаковывают готовое изделие.2. Способ получения рельефа на металлической поверхности по п.1, отличающийся тем, что процесс травления рисунка ведут многоступенчато, чередуя непосредственно травление с извлечением подложки из травящего раствора, промывкой, удалением промывочной жидкости с поверхности подложки и из рельефа и дальнейшим погружением подложки в травящий раствор, располагая травящуюся поверхность подложки параллельно поверхности травящего раствора, обеспечивая формирование защитного газового слоя под маской, при этом каждую ступень травления ведут в свежем травящем растворе.3. Способ получения релье |
