感光性树脂组合物、凹凸图案形成材料、感光性膜、聚酰亚胺膜、硬化凹凸图案、其制造方法及半导体装置

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物、使用所述感光性树脂组合物的凹凸图案形成材料、感光性膜、聚酰亚胺膜、硬化凹凸图案、其制造方法及含有所述硬化凹凸图案的半导体装置，上述感光性树脂组合物具有分辨率及灵敏度优异的微影性能，在所谓的低温固化下应力低，由此可形成防止晶片翘曲的硬化凹凸图案。本发明的感光性树脂组合物含有：(a)具有下述通式(1)所表示的重复单元的树脂、及(b)通过活性光线或放射线的照射而产生酸的化合物。，上述通式(1)中，R1表示四价有机基。多个R1可彼此相同也可不同。R2表示二价有机基。多个R2可彼此相同也可不同。其中，多个R2中至少一个为含有脂环基的二价有机基。R3分别独立表示氢原子或有机基。其中，多个-CO2R3中至少一个为通过酸的作用发生分解而产生碱可溶性基的基。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于含有：(a)具有下述通式(1)所表示的重复单元的树脂、及(b)通过活性光线或放射线的照射而产生酸的化合物，[化1]所述通式(1)中，R¹表示四价有机基；多个R¹可彼此相同也可不同；R²表示二价有机基；多个R²可彼此相同也可不同；其中，多个R²中至少一个为含有脂环基的二价有机基；R³分别独立表示氢原子或有机基；其中，多个-CO₂R³中至少一个为通过酸的作用发生分解而产生碱可溶性基的基。