一种非周期高对比度光栅及其制备方法

摘要

本发明公开了一种非周期高对比度光栅及其制备方法，光栅结构包括从上到下的氮化物器件层和硅衬底层，顶氮化物器件层上具有光栅器件结构，光栅器件满足相位匹配方程：   。光栅器件结构为非周期，以空气隙为间隔。氮化物器件层，使用的材料为氮化镓；硅衬底层具有一个贯穿至氮化物器件层下表面的空腔；氮化物器件层为完全悬空的。本发明的光栅聚焦和透射能力强、运用场景丰富、制备工艺简单。

主权项

1.一种非周期高对比度光栅，其特征在于，该光栅以硅基氮化物晶片为载体，包括硅衬底层（1）和设置在所述衬底层（1）上方的氮化物器件层（2），所述氮化物器件层（2）中设置有非周期光栅器件结构，所述非周期光栅器件结构下方设置有贯穿硅衬底层（1）的空腔，使非周期光栅器件结构完全悬空；  所述非周期光栅器件结构为矩形，具有不同的周期与占空比，光栅和光栅之间以空气做为间隙，光栅的相位分布满足相位匹配方程：，其中x轴定义为矩形的短边，y轴定义为矩形的长边，f为xy平面上的焦距，为入射光的波长，为最边缘的光栅相位，定义为自由空间的波矢常量，为光栅的相位分布。