风机过滤单元

摘要

本发明公开了一种风机过滤单元，安装在半导体立式炉设备的侧壁上，包括：壳体，所述壳体为长方体空心结构，壳体的正面开设有出风口；第一过滤器，所述第一过滤器固定安装在壳体的出风口处；空腔，所述第一过滤器与所述壳体之间设有供气流通过的空腔；所述壳体的底部设有凸出的离心风机安装位，所述离心风机安装在离心风机安装位上，壳体底部设有进气口，所述进气口将半导体立式炉设备内的气流吸入，经过离心风机并排送气体至空腔，经第一过滤器过滤后，提供气流至半导体立式炉设备内部。本发明提供的风机过滤单元结构简单，占用空间小，充分的利用半导体立式炉设备中的空间，为微环境提供稳定的、高洁净度的、均匀的水平气流。

主权项

一种风机过滤单元，安装在半导体立式炉设备的侧壁上，包括：壳体,所述壳体为长方体中空结构，壳体的正面开设有出风口；第一过滤器,用于过滤气流中的颗粒物，所述第一过滤器固定安装在壳体的出风口处，所述出风口的尺寸与第一过滤器尺寸相匹配；以及空腔,所述第一过滤器与所述壳体之间设有供气流通过的空腔；其特征在于，所述壳体的底部设有凸出的离心风机安装位，所述离心风机安装位上设有离心风机，靠近离心风机进气端的壳体底部设有进气口，所述进气口将半导体立式炉设备内的气流吸入，经过离心风机并排送气流至空腔，经第一过滤器过滤后，提供气流至半导体立式炉设备内部。