| 发明名称 | 风冷型扩散泵真空机组 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种风冷型扩散泵真空机组，包括扩散泵组及控制系统；所述扩散泵组包括风冷型扩散泵，所述风冷型扩散泵连接有前级泵，所述风冷型扩散泵与前级泵之间的管路上安装有高真空阀门组，所述风冷型扩散泵、前级泵、高真空阀门组均与控制系统信号连接。本实用新型采用风冷型扩散泵的设计，相比水冷型节约了生产及使用成本，并且具有操作方便、能够减少设备占用体积的优势。 | ||
| 申请公布号 | CN203532351U | 申请公布日期 | 2014.04.09 |
| 申请号 | CN201320661039.9 | 申请日期 | 2013.10.24 |
| 申请人 | 合肥科晶材料技术有限公司 | 发明人 | 方辉;邾根祥;江晓平 |
| 分类号 | F04F9/04(2006.01)I;F04F9/08(2006.01)I | 主分类号 | F04F9/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种风冷型扩散泵真空机组，包括扩散泵组及控制系统，其特征在于：所述扩散泵组包括风冷型扩散泵，所述风冷型扩散泵连接有前级泵，所述风冷型扩散泵与前级泵之间的管路上安装有高真空阀门组，所述风冷型扩散泵、前级泵、高真空阀门组均与控制系统信号连接。 | ||
| 地址 | 230031 安徽省合肥市长江西路669号华源实业园 | ||