电化学加工设备及加工方法及其电极单元

摘要

本发明是关于一种电化学加工设备及加工方法及其电极单元，其包含一绝缘管与一液态金属，以用于加工至少一工件，工件与绝缘管位于一电解液中，绝缘管具有至少一孔洞，液态金属填充于绝缘管内并伸入孔洞，而为一电极以对工件加工。由于本发明是利用液态金属作为电极，所以藉由调整液态金属伸入孔洞的位置，即可控制加工工件的深度，如此可提高加工精度与节省加工成本。

主权项

一种电化学加工设备，其特征在于，该电化学加工设备用以加工至少一工件，该电化学加工设备包含有：一槽体，具有一电解液，其中该工件位于该电解液中；一绝缘管，具有至少一孔洞，位于该电解液中；一液态金属，填充于该绝缘管内，并伸入该孔洞，而为一电极，以对该工件加工；一电源单元，其两极分别耦接该工件与该液态金属；以及一控制装置，包含一伸缩控制单元用以施加一压力于该液态金属，以控制该液态金属伸入该孔洞的位置，该控制装置依据复数个压力控制参数而控制施加于该液态金属的该压力的大小，而控制该液态金属伸入该孔洞的位置；该控制装置更包含：一数据库，储存有该些压力控制参数，该些压力控制参数对应于该液态金属伸入该孔洞的位置；以及一微处理单元，读取该些压力控制参数，且依据该些压力控制参数产生一控制讯号；其中，该伸缩控制单元耦接该微处理单元，且依据该控制讯号控制施加于该液态金属的该压力的大小，以控制该液态金属伸入该孔洞的位置。