发明名称 吸附装置及处理装置
摘要 一种吸附装置及具备该吸附装置的处理装置,能够以很高的作业效率简单地吸附固定不同尺寸的被吸附体。具备利用差压来吸附膜状材料(2)的吸附部(61),吸附部(61)被划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域(62a~62d),各个吸附区域(62a~62d)与真空排气线(13a~13d)和气体供给线(16a~16d)连通地连接,在真空排气线(13a~13d)和气体供给线(16a~16d)上分别设置了开闭阀(14a~14d)、(17a~17d)。
申请公布号 CN103717349A 申请公布日期 2014.04.09
申请号 CN201280035359.1 申请日期 2012.06.25
申请人 株式会社日本制钢所 发明人 松岛达郎
分类号 B23Q3/08(2006.01)I;B23K26/70(2014.01)I;B23K37/04(2006.01)I 主分类号 B23Q3/08(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 茅翊忞
主权项 一种吸附装置,其特征在于,具备利用差压来吸附被吸附体的吸附部,该吸附部被划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域。
地址 日本东京