发明名称 |
吸附装置及处理装置 |
摘要 |
一种吸附装置及具备该吸附装置的处理装置,能够以很高的作业效率简单地吸附固定不同尺寸的被吸附体。具备利用差压来吸附膜状材料(2)的吸附部(61),吸附部(61)被划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域(62a~62d),各个吸附区域(62a~62d)与真空排气线(13a~13d)和气体供给线(16a~16d)连通地连接,在真空排气线(13a~13d)和气体供给线(16a~16d)上分别设置了开闭阀(14a~14d)、(17a~17d)。 |
申请公布号 |
CN103717349A |
申请公布日期 |
2014.04.09 |
申请号 |
CN201280035359.1 |
申请日期 |
2012.06.25 |
申请人 |
株式会社日本制钢所 |
发明人 |
松岛达郎 |
分类号 |
B23Q3/08(2006.01)I;B23K26/70(2014.01)I;B23K37/04(2006.01)I |
主分类号 |
B23Q3/08(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
茅翊忞 |
主权项 |
一种吸附装置,其特征在于,具备利用差压来吸附被吸附体的吸附部,该吸附部被划分成能够各自独立地实施吸附动作的多个吸附区域。 |
地址 |
日本东京 |