微透镜阵列及使用微透镜阵列的扫描曝光装置

摘要

微透镜阵列在玻璃板的上表面及下表面分别层叠有单位微透镜阵列，由上板及下板保持各单位微透镜阵列。在各单位微透镜阵列和玻璃板形成有对位用的标记，单位微透镜阵列和玻璃板利用这些标记来进行对位并互相层叠。由此，在使用多片微透镜阵列的扫描曝光中，能够防止曝光不匀。

主权项

一种微透镜阵列，与出射曝光光的光源一起移动，使来自所述光源的曝光光透射掩模的图案，由该掩模的透射光使形成于所述掩模的图案的正立等大像成像，所述微透镜阵列的特征在于，包括：玻璃板；和层叠于该玻璃板的上表面及下表面并由多个微透镜二维配置而构成且互相层叠的多片单位微透镜阵列，所述单位微透镜阵列由多个微透镜沿第1方向排列而构成的微透镜列在与所述第1方向正交的第2方向配置多列而构成，由既定数量的微透镜列构成微透镜列群，在各微透镜列群中，多列所述微透镜列在所述第1方向以逐一偏移一定距离而配置，在所述第2方向配置多个该微透镜列群而构成所述单位微透镜阵列，在各所述单位微透镜阵列和所述玻璃板，形成有对位用的标记，所述单位微透镜阵列和所述玻璃板利用这些标记进行对位并互相层叠。