分离式点胶机构

摘要

本实用新型适用于半导体固晶技术领域。本实用新型公开一种分离式点胶机构包括Z向运动模组、与该Z向运动模组固定的Theta运动模组和分别与Z向运动模组固定和Theta运动模组连接的点胶摆臂模组，以及协调Z向运动模组、Theta运动模组和点胶摆臂模组工作的控制模块。工作时，在控制模块的协调控制下，所述Theta运动模组对点胶摆臂模组中的摆臂在水平面转动的角度进行调整，同时所述Z向运动模组对点胶摆臂模组中的摆臂上下位置进行调整，通过适当的调节可以使所述摆臂移动至适当位置对键合的晶圆进行点胶。与现有的技术相比，由于其采用上下移动和转动分离，避免点胶摆臂不能同步上下移动和平行移动导致的点胶动作时间长，提高点胶效率，其体积小巧，结构紧凑，维护不便。

主权项

分离式点胶机构，其特征在于：包括Z向运动模组、与该Z向运动模组固定的Theta运动模组和分别与Z向运动模组固定和Theta运动模组连接的点胶摆臂模组，以及协调Z向运动模组、Theta运动模组和点胶摆臂模组工作的控制模块，其中，所述Theta运动模组包括设有伺服电机的基座，该Theta伺服电机的转轴与安装座一端连接，该安装座的另一端与摆臂支架配合；所述Z向运动模组包括设有伺服电机的点胶支撑臂，该伺服电机转轴通过联轴器与传动轴一端连接，在该传动轴上设有与位置传感器配合的感应片，所述传动件的另一端偏轴心设有从动轴，该从动轴通过传动块与导轨安装板配合，该导轨安装板与点胶支撑臂通过导轨滑动连接；所述点胶摆臂模组包括点胶摆臂支架，在该点胶摆臂支架设有与Theta伺服电机转轴非同轴的摆臂转动轴，一端设有点胶摆臂的摆臂转动轴与安装座传动配合。