| 发明名称 | Fe-Pt-C型溅射靶 | ||
| 摘要 | 一种溅射靶，其为原子数比的组成由式：(Fe100-X-PtX)100-ACA(其中，A为满足20≤A≤50的数，X为满足35≤X≤55的数)表示的烧结体溅射靶，其特征在于，具有微细分散在母材合金中的C粒子，且氧含量为300重量ppm以下。本发明的课题在于提供能够制成耐腐蚀性优良的颗粒结构磁性薄膜而且容易使L10结构有序化、微细分散有C粒子且氧含量低的Fe-Pt型溅射靶。 | ||
| 申请公布号 | CN103717781A | 申请公布日期 | 2014.04.09 |
| 申请号 | CN201280021182.X | 申请日期 | 2012.07.20 |
| 申请人 | 吉坤日矿日石金属株式会社 | 发明人 | 佐藤敦 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I;C04B35/56(2006.01)I;G11B5/851(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/34(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 王海川;穆德骏 |
| 主权项 | 一种溅射靶，其为原子数比的组成由式：(Fe100‑X‑PtX)100‑ACA(其中，A为满足20≤A≤50的数，X为满足35≤X≤55的数)表示的烧结体溅射靶，其特征在于，具有微细分散在母材合金中的C粒子，且氧含量为300重量ppm以下。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||