大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置

摘要

大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，涉及大口径光学元件表面微缺陷修复用联动装置。该装置在大型高精度隔振平台上可实现二维联动，用以辅助晶体表面微缺陷的快速探测、精确定位、循环扫描等后续修复工作。X轴直线单元固定在精密平台上，X轴导轨连接板固定在X轴直线单元运动部件上；步进电机驱动X轴直线单元运动部件运动，Y轴导轨连接板固定在Y轴直线单元运动部件上；Y轴直线单元固定在Y轴导轨托盘中，Y轴导轨托盘与X轴导轨连接板定位连接，Y轴导轨托盘另一端为气浮端，气浮框架通过柔性铰链与Y轴导轨连接板连接。本发明用以辅助实现大口径光学元件晶体表面微缺陷修复时的微缺陷快速探测、精确定位与循环扫描等功能。

主权项

一种大口径光学元件表面微缺陷修复用二维大行程联动装置，其特征在于：它包括气浮框架（30）、X轴直线单元（31）、步进电机（32）、X轴导轨连接板（10）、Y轴导轨托盘（33）、Y轴直线单元（12）、Y轴导轨连接板（14）及两组柔性铰链（3）；所述X轴直线单元（31）固定在精密平台上表面，所述X轴导轨连接板（10）固定在X轴直线单元（31）的运动部件上；步进电机（32）驱动X轴直线单元（31）的运动部件做直线运动；所述Y轴导轨连接板（14）固定在Y轴直线单元（12）的运动部件上；Y轴直线单元（12）固定在Y轴导轨托盘（33）中，Y轴导轨托盘（33）一端面与X轴导轨连接板（10）的一侧面定位并连接，Y轴导轨托盘（33）另一端为气浮端，Y轴直线单元（12）的运动轴线与X轴直线单元（31）的运动轴线在X、Y平面的投影垂直；所述气浮框架（30）设置在精密平台上表面，且气浮框架（30）的一侧面通过两组柔性铰链（3）与Y轴导轨连接板（14）的一侧面连接，气浮框架（30）的X向对称面与Y轴直线单元（12）的运动轴线垂直。