基板清洗装置及研磨装置

摘要

一种基板清洗装置，具有：收容基板(W)的清洗槽(1)；配置在清洗槽(1)内的基板保持部(2)；将药液供给于由基板保持部(2)保持的基板(W)的药液喷嘴(5)；以及将清洗液供给于清洗槽(1)内表面(1a)的多个清洗液喷嘴(7)，对清洗槽(1)的内表面(1a)实施粗糙化处理、亲水性材料的涂层等的亲水化处理。采用本发明，可用廉价材料构成清洗槽，同时可防止药液对清洗槽的腐蚀。

主权项

一种基板清洗装置，其特征在于，具有：收容基板的清洗槽；配置在所述清洗槽内的基板保持部；将药液供给于所述基板的药液喷嘴，所述基板由所述基板保持部保持；以及将清洗液供给于所述清洗槽的内表面的多个清洗液喷嘴，对所述清洗槽的内表面实施亲水化处理。