一种集成的硅电容麦克风

摘要

本实用新型公开一种集成的硅电容麦克风，包括：具有至少1个进音孔的外壳，具有1个开孔的基板，2个或4个无缝物理连接的相互匹配的MEMS敏感元件、集成电路和声腔，声腔由2个或4个MEMS敏感元件和基板共同构成，具体为通过基板上的开孔将2个或4个MEMS敏感元件的音腔对称地相连通，并通过共用布置在外壳上、相对各MEMS敏感元件位置同一的进音路径形成的对称声腔，使得声波输入直到通过各MEMS敏感元件转变为电信号的传声路径对于硅麦克风中各MEMS敏感元件的完全对称，其中进音路径为从外壳上的进音孔、声腔到各MEMS敏感元件的振膜形成的路径；集成电路用于对声波经传声路径传送至各MEMS敏感元件转化为的电信号进行缓冲/放大和输出。

主权项

一种集成的硅电容麦克风，其特征在于，包括：具有至少1个进音孔的外壳，具有1个开孔的基板，2个或4个无缝物理连接的相互匹配的MEMS敏感元件、集成电路和声腔，其中：所述声腔由所述2个或4个MEMS敏感元件和所述基板共同构成，具体为通过所述基板上的开孔将所述2个或4个MEMS敏感元件的音腔对称地相连通，并通过共用布置在所述外壳上、相对各所述MEMS敏感元件位置同一的进音路径形成的对称声腔，其中所述进音路径为从所述外壳上的进音孔、所述声腔到各所述MEMS敏感元件的振膜形成的路径；所述集成电路与各所述MEMS敏感元件分别相连接。