夹具及电荷测量方法

摘要

本发明涉及一种夹具。根据本发明的一个实施例的夹具，其为利用等离子体对基板执行等离子体处理的装置中为了测量工艺进行时基板上积累的电荷量而使用的夹具，所述夹具包括：金属材质的底板；从所述底板向上部突出的绝缘层；以及在所述绝缘层的上端提供的金属层。

主权项

一种夹具，在利用等离子体对基板执行等离子体处理的装置中，所述夹具用于测量工艺过程中基板上积累的电荷量，所述夹具包括：底板，金属材质；绝缘层，从所述底板向上部突出；以及金属层，在所述绝缘层的上端提供。