通过带为7550-13900nm的红外测温滤光片

摘要

本发明所设计的一种测试精度高、能极大提高信噪比的通过带为7550-13900nm的红外测温滤光片，包括以Si为原材料的基板，以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，该通过带为7550-13900nm的红外测温滤光片，其在温度测量过程中，可大大的提高信噪比，提高测试精准度。该滤光片50%Cut on＝7550±200nm，50%Cut off＝13900±400nm；7750～13400nm Tavg≥85%；2000～7000nm、14500～19000nm Tavg≤1%。

主权项

一种通过带为7550‑13900nm的红外测温滤光片，包括以Si为原材料的基板，以Ge、ZnS为第一镀膜层和以Ge、ZnS为第二镀膜层，且所述基板位于第一镀膜层和第二镀膜层之间，其特征是：所述第一镀膜层由内向外依次排列包含有：411nm厚度的Ge层、271nm厚度的ZnS层、356nm厚度的Ge层、317nm厚度的ZnS层、187nm厚度的Ge层、346nm厚度的ZnS层、156nm厚度的Ge层、322nm厚度的ZnS层、159nm厚度的Ge层、489nm厚度的ZnS层、194nm厚度的Ge层、293nm厚度的ZnS层、167nm厚度的Ge层、317nm厚度的ZnS层、163nm厚度的Ge层、289nm厚度的ZnS层、261nm厚度的Ge层、391nm厚度的ZnS层、180nm厚度的Ge层、231nm厚度的ZnS层、302nm厚度的Ge层、404nm厚度的ZnS层、353nm厚度的Ge层、312nm厚度的ZnS层、259nm厚度的Ge层、310nm厚度的ZnS层、382nm厚度的Ge层、347nm厚度的ZnS层、373nm厚度的Ge层、302nm厚度的ZnS层、276nm厚度的Ge层、331nm厚度的ZnS层、350nm厚度的Ge层、390nm厚度的ZnS层、388nm厚度的Ge层、571nm厚度的ZnS层、281nm厚度的Ge层、751nm厚度的ZnS层、366nm厚度的Ge层、462nm厚度的ZnS层、439nm厚度的Ge层、806nm厚度的ZnS层、178nm厚度的Ge层、963nm厚度的ZnS层、427nm厚度的Ge层、311nm厚度的ZnS层、410nm厚度的Ge层、489nm厚度的ZnS层、546nm厚度的Ge层和358nm厚度的ZnS层；所述第二镀膜层由内向外依次排列包含有：145nm厚度的Ge层、290nm厚度的ZnS层、105nm厚度的Ge层、1953nm厚度的ZnS层、357nm厚度的Ge层、145nm厚度的ZnS层、607nm厚度的Ge层、2262nm厚度的ZnS层、982nm厚度的Ge层、247nm厚度的ZnS层、247nm厚度的Ge层、631nm厚度的ZnS层、1257nm厚度的Ge层、1587nm厚度的ZnS层、105nm厚度的Ge层、558nm厚度的ZnS层、292nm厚度的Ge层、145nm厚度的ZnS层、134nm厚度的Ge层、2315nm厚度的ZnS层、897nm厚度的Ge层、195nm厚度的ZnS层、312nm厚度的Ge层、590nm厚度的ZnS层、1263nm厚度的Ge层、1976nm厚度的ZnS层、168nm厚度的Ge层、298nm厚度的ZnS层、477nm厚度的Ge层和1175nm厚度的ZnS层。