| 摘要 |
<p>Ein Durchflussmengenmesser mit einer verbesserten Korrosionsbeständigkeit wird geschaffen. Der Durchflussmengenmesser weist ein Siliciumsubstrat mit einer Membran auf, in welcher eine Heizeinrichtung gebildet ist, eine auf einem Siliciumsubstrat gebildete Aluminiumkontaktfläche, einen auf das Siliciumsubstrat laminierten organischen Schutzfilm und ein Formharz, welches das Siliciumsubstrat bedeckt. Die Membran hat einen freiliegenden Abschnitt, der nicht von dem organischen Schutzfilm bedeckt ist, eine Haftfläche, die eine hohe Hafteigenschaft an dem Formharz aufweist, ist auf das Siliciumsubstrat laminiert, und ein Haftfilm des Formharzes an dem Haftfilm ist zwischen dem Freiliegendenabschnitt und der Aluminiumkontaktfläche vorgesehen.</p> |
