发明名称 Spanntisch
摘要 Ein Spanntisch zum Halten eines Werkstücks, das eine Wölbung aufweist. Der Spanntisch enthält ein Ansaughalteelement, das eine obere Fläche als eine Ansaughaltefläche zum Halten des Werkstücks unter Ansaugen aufweist, und ein ringförmiges Dichtungselement, das so vorgesehen ist, um den Außenumfang des Ansaughalteelements zum Unterstützen eines Umfangsabschnitts des Werkstücks, das auf der Ansaughaltefläche gehalten wird, zu umgeben. Das ringförmige Dichtungselement ist aus einem elastischen Element ausgebildet. Das Ansaughalteelement ist mit einer Vakuumquelle zum Erzeugen eines Vakuums und Anlegen des Vakuums an die Ansaughaltefläche verbunden. Das Niveau der oberen Fläche des ringförmigen Dichtungselements ist höher festgelegt als die Ansaughaltefläche gemäß der Wölbung des Werkstücks. Beim Halten des Werkstücks auf dem Ansaugtisch unter Ansaugen wird das Vakuum, das aus der Lück zwischen dem Werkstück und der Ansaughaltefläche aufgrund der Wölbung des Werkstücks entweicht, an den Raum angelegt, der von dem Werkstück und dem ringförmigen Dichtungselement definiert wird, wodurch das ringförmige Dichtungselement elastisch verformt wird, um die obere Fläche des Werkstücks abzuflachen.
申请公布号 DE102013219901(A1) 申请公布日期 2014.04.03
申请号 DE201310219901 申请日期 2013.10.01
申请人 DISCO CORPORATION 发明人 LIZUKA, KENTARO;TERAJIMA, MASATO
分类号 B25B11/00;H01L21/67 主分类号 B25B11/00
代理机构 代理人
主权项
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