摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Strahlführungseinrichtung (3) zur Führung eines Laserstrahls (5) von einer Treiberlasereinrichtung (2) in Richtung auf eine Zielposition (6) zur Erzeugung von EUV-Strahlung, umfassend: eine Einrichtung (14) zur Vergrößerung oder Verkleinerung des Strahldurchmessers (d1) des Laserstrahls (5), mit: einem ersten Off-Axis Parabolspiegel (15) mit einer ersten, konvex gekrümmten reflektierenden Oberfläche (15a) undeinem zweiten Off-Axis Parabolspiegel (16) mit einer zweiten, konkav gekrümmten reflektierenden Oberfläche (16b). Die Strahlführungseinrichtung (3) weist eine Bewegungseinrichtung (20) auf, die ausgebildet ist, zur Veränderung des Öffnungswinkels (a) des Laserstrahls (5) einen Abstand zwischen der ersten und der zweiten reflektierenden Oberfläche (15a, 16a) zu verändern. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Einstellen eines Öffnungswinkels (a) einesLaserstrahls (5) bei einer solchen Strahlführungseinrichtung (3).</p> |