发明名称 BEAM-GUIDING DEVICE AND A METHOD FOR ADJUSTING THE OPENING ANGLE OF A LASER BEAM
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Strahlführungseinrichtung (3) zur Führung eines Laserstrahls (5) von einer Treiberlasereinrichtung (2) in Richtung auf eine Zielposition (6) zur Erzeugung von EUV-Strahlung, umfassend: eine Einrichtung (14) zur Vergrößerung oder Verkleinerung des Strahldurchmessers (d1) des Laserstrahls (5), mit: einem ersten Off-Axis Parabolspiegel (15) mit einer ersten, konvex gekrümmten reflektierenden Oberfläche (15a) undeinem zweiten Off-Axis Parabolspiegel (16) mit einer zweiten, konkav gekrümmten reflektierenden Oberfläche (16b). Die Strahlführungseinrichtung (3) weist eine Bewegungseinrichtung (20) auf, die ausgebildet ist, zur Veränderung des Öffnungswinkels (a) des Laserstrahls (5) einen Abstand zwischen der ersten und der zweiten reflektierenden Oberfläche (15a, 16a) zu verändern. Die Erfindung betrifft auch ein Verfahren zum Einstellen eines Öffnungswinkels (a) einesLaserstrahls (5) bei einer solchen Strahlführungseinrichtung (3).</p>
申请公布号 WO2014048563(A1) 申请公布日期 2014.04.03
申请号 WO2013EP02872 申请日期 2013.09.25
申请人 TRUMPF LASER- UND SYSTEMTECHNIK GMBH 发明人 LAMBERT, MARTIN
分类号 G21K1/06 主分类号 G21K1/06
代理机构 代理人
主权项
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