激光蚀刻机真空吸附装置

摘要

本实用新型涉及蚀刻机技术领域，尤指一种激光蚀刻机真空吸附装置，包括压缩空气供给装置、真空发生器、可对真空发生器的开启或关闭进行控制的控制装置、进气管、真空吸附管以及用于吸附工件的面板，真空发生器设有进气口以及抽真空口，所述控制装置设于真空发生器的进气口，压缩空气供给装置通过进气管与真空发生器的进气口连通，面板连接有底板，面板与底板内部形成真空吸附空间，真空发生器的抽真空口通过真空吸附管连通真空吸附空间；本实用新型提供了一种激光蚀刻机真空吸附装置，其可以根据工件的加工过程，对吸附的真空压力实时进行控制，工作效率较高。

主权项

一种激光蚀刻机真空吸附装置，其特征在于，包括压缩空气供给装置、真空发生器、可对真空发生器的开启或关闭进行控制的控制装置、进气管、真空吸附管以及用于吸附工件的面板，真空发生器设有进气口以及抽真空口，所述控制装置设于真空发生器的进气口，压缩空气供给装置通过进气管与真空发生器的进气口连通，面板连接有底板，面板与底板内部形成真空吸附空间，真空发生器的抽真空口通过真空吸附管连通真空吸附空间。