发明名称 一维碳化铪纳米材料的制备方法
摘要 本发明涉及一种一维碳化铪纳米材料的制备方法,其特征在于:配制浓度为0.05~2mol/L的Ni(NO3)2的乙醇或水溶液,将清洗干净的石墨基底放于溶液中浸泡、烘干;然后悬挂于立式的管式电阻炉内进行沉积,沉积结束后停止通入反应气体,关闭加热电源自然降温,制备出一维HfC纳米线、纳米带。本发明方法,利用CVD工艺可控的优点,可有效控制一维HfC纳米材料的形貌和尺寸,获得HfC纳米带和高纯、高性能的HfC纳米线。同时采用的CVD方法沉积温度较低,沉积压力处于低真空范围内,而且使用的催化剂为常见的催化剂化合物试剂,降低了制备高纯和高性能HfC纳米线的成本。
申请公布号 CN102730685B 申请公布日期 2014.04.02
申请号 CN201210226110.0 申请日期 2012.07.03
申请人 西北工业大学 发明人 李贺军;田松;张雨雷;张守阳;齐乐华
分类号 C01B31/30(2006.01)I;B82Y30/00(2011.01)I 主分类号 C01B31/30(2006.01)I
代理机构 西北工业大学专利中心 61204 代理人 王鲜凯
主权项 一种一维碳化铪纳米材料的制备方法,其特征在于步骤如下:步骤1:配制浓度为0.05~2mol/L的Ni(NO3)2的乙醇溶液;步骤2:将清洗干净的石墨基底放于步骤1的溶液中浸泡1h,使其表面附有Ni(NO3)2,然后取出石墨基底放在40~55℃的干燥箱烘干;步骤3:将步骤2中表面附有Ni(NO3)2的石墨基底悬挂于立式的管式电阻炉内,抽真空至2kPa,然后通入惰性氩气作为保护气体,以5~10℃/min的升温速度将炉温升至1000~1200℃;步骤4:通入H2、HfCl4和CH4气体,控制H2、HfCl4和CH4的分压分别为0.84~0.98,0.08~0.01,0.08~0.01,HfCl4气体流量为80~140mg/min;步骤5:调节真空泵抽速,将管式电阻炉内的沉积压力控制在2kPa~30kPa;沉积时间为2~8h;步骤6:沉积结束后停止通入反应气体,关闭加热电源自然降温,制备出一维HfC纳米线、纳米带。
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