| 发明名称 |
Nouveau procédé de dépôt en phase vapeur et produit obtenu par ce procédé |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR1479015(A) |
申请公布日期 |
1967.04.28 |
| 申请号 |
FR19660060729 |
申请日期 |
1966.05.09 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
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| 分类号 |
C01B31/36;C04B41/50;C04B41/87;C23C16/01;C23C16/32 |
主分类号 |
C01B31/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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