一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统

摘要

本发明公开了一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统。在该检测系统中，被监测的光学元件与激光器、导向镜、光电探头之间不做相对运动，仅依靠导向镜的二维转动实现对光学元件表面的逐点主动扫描，并在扫描过程中实时改变光束的焦点位置使其始终落在光学元件表面上。该系统能够满足高功率固体激光装置中强光辐照环境、高真空环境以及狭窄空间中的光学元件在线监测，本发明的系统结构简单，使用灵活，应用范围广泛。

主权项

一种基于激光束主动扫描的光学元件表面疵病检测系统，所述的检测系统含有激光器（1）、扩束器（2）、变焦透镜（3）、导向镜（4）、光电探头Ⅰ（71）、光电探头Ⅱ（72）以及计算机（8）和控制器（9）；其中，激光器（1）、扩束器（2）、导向镜（4）依次排列；激光器（1）、扩束器（2）、导向镜（4）、数个光电探头以及被监测的光学元件（5）之间的位置相对固定，光电探头设置在元件通光区域外；光电探头分别外接计算机（8）；控制器（9）与计算机（8）连接，控制器（9）同时还连接导向镜（4）和变焦透镜（3）；激光束（10）通过导向镜（4）的二维转动实现对光学元件（5）的主动扫描，并在扫描过程中实时进行自动对焦、焦点始终落在光学元件（5）的表面上；控制器（9）控制导向镜（4）做二维旋转并将激光束（10）的焦点调整到表面疵病（6）所在位置，其特征在于：所检测的元件是光学元件；变焦透镜（3）位于扩束器（2）和导向镜（4）之间，且与激光器（1）、扩束器（2）、导向镜（4）数个光电探头以及被监测的光学元件（5）之间的位置相对固定，激光器发出激光束（10）、经扩束器（2）放大为一定口径的平行光束、再经变焦透镜（3）聚焦，最后经导向镜（4）导向后激光束（10）射向被监测的光学元件（5）。