横向剪切干涉仪波前测量方法

摘要

本发明提出的横向剪切干涉仪波前测量方法，旨在提供一种实时，高精确度，快速的，可用于横向剪切干涉仪对波前畸变测量的方法。本发明通过下述技术方案实现：在横向剪切干涉仪测量软件中，将通过经验设定的滤波函数设置为通过自动分析采集结果计算后获得的自适应算法模块，自适应算法模块通过干涉系统中的分束镜做小角度倾斜引入合适空间载频，经被成像系统采集后进行傅立叶分析获取频谱信息和数字加权滤波，并将电荷耦合器CCD获取的光强条纹信息进行傅立叶变化和分析，获取新的频谱信息，根据采集图样信息自动计算滤波函数的参数，进行滤波计算还原得到波前图，再将滤波获得的相位信息进行解包计算和叠加计算，获得最终的波前相位测量结果。

主权项

一种横向剪切干涉仪波前测量方法，其特征在于包括如下步骤：在横向剪切干涉仪测量软件中，将原来通过经验设定的滤波函数设置为通过自动分析采集结果计算后获得的自适应算法模块，自适应算法模块通过干涉系统中的分束镜（1）做小角度倾斜引入合适空间载频，待测光被分束镜（1）透射和反射的两路经过扩束和缩束后形成了的干涉条纹，成像到电荷耦合器CCD，经被成像系统采集后进行傅立叶分析获取频谱信息和数字加权滤波，并将电荷耦合器CCD获取的光强条纹信息进行傅立叶变化，对得到的探测条纹I(x,y)做傅立叶分析，获取频谱域和频率域信息，然后通过频率域信息自动获取滤波参数最大值、最小值和步长，自动设定汉宁窗函数参数L值进行滤波计算，计算不同汉宁窗函数参数Ln情况下获得的波前分布结果W(Ln)，并对波前分布分别做快速离散傅立叶变换，获取新的频谱信息，同时将相邻的频谱信息做相关计算，根据获取的图样自动计算汉宁窗函数参数最大值、最小值和计算步长，取相关计算结果最大值与周围结果变换最小值作为最终的滤波函数参数，根据采集的图样信息自动计算滤波函数的参数，从滤波后的值中进行逆傅立叶变化获得相位信息，进行滤波计算还原得到波前图，再将滤波获得的相位信息进行解包计算和叠加计算，从而获得最终的波前相位测量结果。