气体激光器回充保护气体的控制方法及其控制装置

摘要

一种气体激光器回充保护气体的控制方法，当气体激光器处于关机状态时，检测谐振腔内部的气压和谐振腔外部的气压；接收并比较检测到的谐振腔内部的气压值和谐振腔外部的气压值的大小，根据比较结果控制开关的开闭。若谐振腔内部的气压值大于或等于谐振腔外部的压力值，控制开关处于关闭状态；若谐振腔内部的气压值小于谐振腔外部的压力值，控制开关处于开启状态，充入保护气体至谐振腔内部；继续检测并比较谐振腔内部的气压值与谐振腔外部的气压值的大小，至谐振腔内部的气压值大于或等于谐振腔外部的气压值，关闭开关。通过动态调整谐振腔内部的气压值，使谐振腔内部气压值大于或等于谐振腔外部的气压值，防止外部杂质气体渗漏至谐振腔内部。

主权项

一种气体激光器回充保护气体的控制方法，其特征在于，包括以下步骤：当气体激光器处于关机状态时，分别检测谐振腔内部的气压和谐振腔外部的气压；接收并比较检测到的所述谐振腔内部的气压值和所述谐振腔外部的气压值的大小，根据比较结果控制所述开关的开闭：若所述谐振腔内部的气压值大于或等于所述谐振腔外部的气压值，则控制所述开关处于关闭状态；若所述谐振腔内部的气压值小于所述谐振腔外部的气压值，则控制所述开关开启，充入保护气体至所述谐振腔内部，继续检测并比较所述谐振腔内部的气压值与所述谐振腔外部的气压值的大小，直到所述谐振腔内部的气压值大于或等于所述谐振腔外部的气压值时，控制所述开关关闭。