发明名称 | 晶片级光谱仪 | ||
摘要 | 本发明涉及一种用于测量光学辐射的特性的传感器设备,所述传感器设备具有衬底及位于所述衬底内在一个或一个以上空间上分离的位置处的低轮廓光谱选择性检测系统。所述光谱选择性检测系统包含以光学方式耦合到对应光学检测器阵列的大体层状波长选择器阵列。应强调,提供本摘要以符合需要将允许搜索者或其它读者快速断定技术性揭示内容的标的物的摘要的规则。提交本摘要是基于以下理解:其将不用于解释或限制权利要求书的范围或含义。 | ||
申请公布号 | CN103703348A | 申请公布日期 | 2014.04.02 |
申请号 | CN201280036758.X | 申请日期 | 2012.06.12 |
申请人 | 科磊股份有限公司 | 发明人 | 厄尔·詹森;梅·孙;凯文·奥布赖恩 |
分类号 | G01J3/02(2006.01)I | 主分类号 | G01J3/02(2006.01)I |
代理机构 | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人 | 张世俊 |
主权项 | 一种用于测量光学辐射的特性的传感器设备,其包括:a)衬底;b)低轮廓光谱选择性检测系统,其位于所述衬底内在一个或一个以上空间上分离的位置处,其中所述光谱选择性检测系统包含以光学方式耦合到对应光学检测器阵列的大体层状光学波长选择器阵列。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |