发明名称 薄膜电路装置和电子设备
摘要 本发明的目的在于提供能确保高的可靠性的薄膜电路装置。本发明的薄膜电路装置具备:基板;在上述基板上形成了的、具有包括薄膜元件的元件区域的薄膜电路层;以及在上述薄膜电路层中设置成介于上述薄膜电路层的端部与上述元件区域之间的、与周围相比机械强度相对地低的低强度区域。
申请公布号 CN102412199B 申请公布日期 2014.04.02
申请号 CN201110314362.4 申请日期 2007.01.23
申请人 精工爱普生株式会社 发明人 小平泰明;宇都宫纯夫
分类号 H01L21/77(2006.01)I 主分类号 H01L21/77(2006.01)I
代理机构 北京市中咨律师事务所 11247 代理人 万利军;陈海红
主权项 一种薄膜电路装置,其特征在于,包括:基板;和形成于上述基板上的薄膜电路层;上述薄膜电路层具备包括薄膜元件的元件区域和配置于上述元件区域与上述基板的端部之间的低强度区域,上述低强度区域具备与该低强度区域的周边部相比机械强度设定得较低的凹状槽,上述凹状槽包括以直线状连续的槽和以直线状断续的槽的组合。
地址 日本东京都