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发明名称 大型光罩基板之回收利用方法
摘要
申请公布号 TWI432891 申请公布日期 2014.04.01
申请号 TW096148073 申请日期 2007.12.14
申请人 信越化学工业股份有限公司 日本 发明人 上田修平;柴野由纪夫
分类号 G03F1/60 主分类号 G03F1/60
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本
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