用于制作图型化基板的装置

摘要

一种用于制作图型化基板的装置，包括一清洗单元、一光阻涂布单元、一曝光单元、一显影单元及一检查单元，单元依序设置。光阻涂布单元设置于清洗单元的下游；曝光单元设置于光阻涂布单元的下游，包括一本体、一升降机构、一基板载台及一光罩载台，本体的内部形成一腔室，升降机构设置于本体的内部，升降机构具有一动力装置，基板载台连接于动力装置，基板载台用于放置基板，光罩载台设置于本体的顶部，光罩载台设置有一透孔，用于放置软性光罩，通过负压或正压方式，使软性光罩下垂变形，以贴附于基板进行曝光操作；该显影单元设置于曝光单元的下游；该检查单元设置于显影单元的下游。藉此，可提高操作的便利性，使图型化基板的制作得以量产。

主权项

一种用于制作图型化基板的装置，其特征在于，所述用于制作图型化基板的装置包括：一清洗单元；一光阻涂布单元，所述光阻涂布单元设置于所述清洗单元的下游；一曝光单元，所述曝光单元设置于所述光阻涂布单元的下游，所述曝光单元包括一本体、一升降机构、一基板载台及一光罩载台，所述本体的内部形成一腔室，所述升降机构设置于所述本体的内部，所述升降机构具有一动力装置，所述基板载台连接于所述动力装置，所述基板载台用于放置基板，所述光罩载台设置于所述本体的顶部，所述光罩载台设置有一透孔，所述透孔用于放置软性光罩，通过负压或正压的方式使所述软性光罩下垂变形，以贴附于所述基板进行曝光操作；一显影单元，所述显影单元设置于所述曝光单元的下游；以及一检查单元，所述检查单元设置于所述显影单元的下游。