在玻璃球罩上镀制高增透保护硬膜的方法

摘要

本发明提出的一种在玻璃球罩内外镀制高增透保护硬膜的方法，利用本发明可以提高膜层的牢固性能力，实现中红外光学波段宽范围的硬膜镀制。本发明通过下述技术方案予以实现：以玻璃球罩为基底，采用公式：G/1.08M3.08H5.08L0.58M/A计算每层膜的光学厚度值；用光学真空镀膜机按公式列表顺序和厚度值装填膜料，将上述M、H、L颗粒状晶体膜料排布顺序依次放入电子枪蒸发源坩锅中，将与球罩基底粘接的1.08M层膜料Al2O3镀制在第一层，在电子枪作用下，形成蒸气分子，依次附着生长在玻璃球罩基底表面；在真空环境下，加温烘烤镀膜基底，在镀膜前和镀膜过程用离子源轰击基底到镀膜完成。本发明解决了在形状不规则球罩表面镀增透膜指标不高和膜层不牢的难题。

主权项

一种在玻璃球罩上镀制高增透保护硬膜的方法，其特征在于包括如下步骤，（1）以玻璃球罩球形玻璃材料为基底，用膜系设计公式：G/1.08M 3.08H 5.08 L 0.58M/A 计算每层膜的光学厚度值，并按上述顺序列表，其中，G为氟镓玻璃材料基底，M为Al2O3膜料,H为SiO膜料，L为MgF2膜料，A为折射率NA=1的空气介质，膜系参考波长λc=800nm；用光学真空镀膜机按公式列表顺序和厚度值装填膜料，将上述M、H、L颗粒状晶体膜料排布顺序依次放入可旋转的电子枪蒸发源坩锅中，然后对光学膜层进行应力匹配和粘接打底，将与球罩基底粘接的1.08M层膜料Al2O3镀制在第一层，各光学膜层膜料在电子枪高压、高温的电子束作用下，形成蒸气分子，依次附着生长在玻璃球罩基底表面；（2）超声波清洗镀膜基底，然后放入真空室抽真空，在真空环境下，加温烘烤镀膜基底，采用30℃起始温度，缓慢升温至230℃后保温100～120分钟，然后进入（3）考夫曼离子源辅助蒸镀工艺，在镀膜前和镀膜过程用离子源轰击基底；让其产生的离子束轰击基底到镀膜完成。