发明名称 |
硅片多线切割机金刚线切割液系统 |
摘要 |
本发明揭示一种硅片多线切割机金刚线切割液系统,包括设置有切割硅锭的金刚线的切割机、给所述切割机提供切割液的供给装置及回收所述切割机流下来的切割液的回收装置。供给装置包括切削喷嘴、冷却喷嘴、分别控制所述切削喷嘴及所述冷却喷嘴流量的数个供给阀门、与所述供给阀门连接的供给泵及供所述供给泵连接的供给缸。回收装置包括具有沉淀作用的回流缸及与所述供给缸连接的抽取泵。金刚线的一侧设置有冷却喷嘴,冷却喷嘴用供给阀门单独控制,可大流量喷出切割液以起冷却清洗作用,并且回收装置的回流缸具有沉淀切割液中的硅粉的作用以利于再次使用,从而形成一种适合金刚线切割的硅片多线切割机金刚线切割液系统。 |
申请公布号 |
CN103660050A |
申请公布日期 |
2014.03.26 |
申请号 |
CN201210320569.7 |
申请日期 |
2012.09.03 |
申请人 |
苏州协鑫光伏科技有限公司 |
发明人 |
张强 |
分类号 |
B28D5/04(2006.01)I;B28D7/02(2006.01)I |
主分类号 |
B28D5/04(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
何平 |
主权项 |
一种硅片多线切割机金刚线切割液系统,其特征在于,包括设置有切割硅锭的金刚线的切割机、给所述切割机提供切割液的供给装置及回收所述切割机流下来的切割液的回收装置,所述供给装置包括设置于所述金刚线一侧并提供切削用切割液的切削喷嘴、设置于所述金刚线另一侧提供冷却清洗用切削液的冷却喷嘴、分别控制所述切削喷嘴及所述冷却喷嘴流量的数个供给阀门、与所述供给阀门连接的供给泵及供所述供给泵连接的供给缸,所述回收装置包括具有沉淀作用的回流缸及与所述供给缸连接的抽取泵,所述抽取泵从所述回流缸抽取切割液后输送给所述供给缸。 |
地址 |
215153 江苏省苏州市高新区五台山路69号 |