| 发明名称 | 一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置 | ||
| 摘要 | 一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置。它由一固定瓣和两交替轮换瓣组成真空镀膜室；两轮换瓣内附有可扩展的镀件转架，其在于镀件转架上可灵活变换镀件挂轴数量以及电极数量。 | ||
| 申请公布号 | CN103668074A | 申请公布日期 | 2014.03.26 |
| 申请号 | CN201210324191.8 | 申请日期 | 2012.09.04 |
| 申请人 | 深圳市特艺实业有限公司 | 发明人 | 陈娘洲 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 代理人 | ||
| 主权项 | 一种三瓣壳体附有交替镀件转架的真空镀膜装置，其包括三瓣壳体镀膜室、可扩展连续交替镀件转架，其特征在于：所述三瓣壳体镀膜室由(1g)固定瓣和(2h1、2h2)两活动瓣组成，三瓣壳体组构成真空镀膜室；所述(3)可扩展连续交替镀件转架由(30q)调速电机驱动轮、(3‑2)一次公转轮、(3‑3)一次自转介轮、(3‑1)固定轮、(3‑4)一次自转轮、(3‑5)二次公转轮、(3‑6)二次自转轮、(3‑7)镀件单元转架、(3‑8)镀件接挂转杆、(3‑9)一次自转转杆、(5)可扩展连续交替镀件转架上支撑板轮、(44)磁控或蒸发电极连接棒组成。 | ||
| 地址 | 518117 广东省深圳市龙岗区坪地镇教育南路8号 | ||